Ламинарно-вытяжной шкаф, предназначенный для ручной работы с образцами. Шкаф используется при необходимости химической очистки или травления образцов. Материалы, из которых изготовлен шкаф, оптимизированы для безопасной работы с наиболее распространёнными в микроэлектронной промышленности кислотами и щелочами. Шкаф совместим со всеми типами чистых помещений и дополнительно оборудован HEPA-фильтрами для очистки ламинарного потока воздуха.
Оборудование разработано для максимально безопасной и эффективной ручной работы с экспериментальными образцами в условиях чистых помещений. Безопасность работы персонала обеспечивается за счёт продуманного расположения защитного экрана, отделяющего человека от рабочей зоны шкафа.
Благодаря HEPA-фильтрам в ламинарной системе шкафа становится возможным улучшить чистоту в рабочей зоне, что позволяет решать более сложные задачи в области нано- и микроэлектроники.
В ламинарно-вытяжной шкаф встроено оборудование для термостатирования образцов во время проведения химических процессов, ультразвуковая ванна, раковина, предусмотрена возможность работы с водой, в том числе ультрачистой.
Корпус шкафа для работы с кислотами и щелочами выполнен из термообработанного полипропилена для обеспечения длительной эксплуатации оборудования. Все материалы соприкасающиеся с деионизированной водой выполнены из специальных марок пластиков, позволяющих поддерживать чистоту воды на высоком уровне.
Ламинарный поток воздуха |
Нисходящий |
Разъёмы для соединения с коммуникациями на задней панели шкафа |
Питание 220 В, труба 300 мм для вытяжной системы, воздушные трубки для подачи чистых газов, вход для водопроводной воды, канализационный выход, вход и выход для присоединения к системе рециркуляции деионизированной воды |
Материал внутренней зоны шкафа (столешница, стенки) |
Полипропилен |
Защита оператора |
Защитный экран |
Расположение полок |
В задней части рабочей зоны шкафа |
Воздушная очистка образцов |
Продувочный пистолет |
Подача воды |
Встроенная раковина, встроенный кран для водопроводной воды, встроенный кран для деионизированной воды, предусмотрено подключение к внешней системе рециркуляции |
Разъёмы на лицевой панели |
Розетки 220 В (2 шт.) |
Совместимость с чистыми помещениями |
ISO3 – ISO9 |
Класс чистоты воздуха в ламинарном потоке. |
ISO3– ISO9, при этом воздух из помещения дополнительно фильтруется за счёт HEPA- фильтра. |
Максимальный класс чистоты в ламинарном потоке |
ISO3 |
Химическая вытяжка |
Осуществляется через перфорацию в столешнице |
Ширина шкафа |
130 см |
Глубина шкафа |
90 см |
Высота |
190 см |
Освещенность рабочей зоны |
600 лк |
Максимальный диаметр пластин |
Всё встроенное оборудование работает с пластинами до 7’’ (150 мм) |
Встроенный оборудование |
Термостат, ультразвуковая ванна |
Диапазон устанавливаемых температур встроенного термостата |
4 – 60º C |
Контроль и регулировка температуры термостата |
Цифровой, возможность создания автоматических программ, жк-экран, управление на передней панели шкафа. |
Мощность встроенной ультразвуковой ванны |
Регулируемая 10 – 300 Вт |
Объем встроенной ультразвуковой ванны |
4 л |
Частота ультразвука в ультразвуковой ванне |
33 - 36 кГц |
Контроль и регулировка мощности ультразвуковой ванны |
Цифровой, возможность создания автоматических программ, жк-экран, управление на передней панели шкафа. |